• 産品特點:
智能識别和(hé / huò)實時(shí)控制脈沖穩定性
開機自動優化脈寬，冷啓動速度快
智能反饋控制，長期功率穩定性好
脈寬窄時(shí)域質量高，滿足低HAZ加工要(yào / yāo)求
一(yī / yì ／yí)體化結構設計，光束指向穩定性高
脈沖控制模式靈活，支持多種觸發工作模式
工業化設計，保障7x24小時(shí)連續工作
• 應用領域:
半導體晶圓隐切
鈣钛礦電池劃線
光波導加工
光栅刻寫
金屬、玻璃、高分子(zǐ)材料加工與表面處理
GENE-DW-1030/515是(shì)一(yī / yì ／yí)款針對高效率工業場景研發的(de)智能穩定飛秒激光器，智能算法加持可實現快速冷啓動，脈沖參數智能識别和(hé / huò)自動優化以(yǐ)及功率能量脈寬的(de)長期穩定。激光器輸出(chū)脈寬窄，光束質量和(hé / huò)脈沖時(shí)域質量高，精密加工時(shí)熱影響區小。一(yī / yì ／yí)體化結構設計緊湊可靠，光束指向穩定性高，支持Trig、Gate、Burst、POD、PSO等多種觸發工作模式，可保障工業用戶7x24小時(shí)連續穩定工作。 此款雙波長飛秒激光器集成1030nm和(hé / huò)515nm兩種波長輸出(chū)可選，脈沖寬度小于(yú)350fs，1030nm單脈沖能量大(dà)于(yú)20μJ@1MHz，515nm單脈沖能量大(dà)于(yú)10uJ@1MHz，長期功率穩定性優于(yú)0.5% RMS。該産品可廣泛應用于(yú)半導體晶圓隐切，鈣钛礦電池劃線，光波導加工，光栅刻寫，金屬、玻璃、高分子(zǐ)材料加工與表面處理等領域。
| 型号 | GENE-515-350-10 | GENE-1030-350-20 | GENE-1030/515-350-20 | |
| 輸出(chū)特性 | ||||
| 中心波長 | 515nm | 1030nm | 1030/515nm | |
| 最大(dà)平均輸出(chū)功率 | 10W | 20W | 20/10W | |
| 最小脈寬 | 350fs | 350fs | 350fs | |
| 脈寬調諧（可選配） | 400~5000fs | 400~5000fs | 400~5000fs | |
| 最大(dà)單脈沖能量 | 10uJ | 20uJ | 20/10uJ | |
| 重複頻率 | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | |
| 脈沖選擇 | 單脈沖，按需脈沖，任意基礎頻率整除 | |||
| 偏振 | 垂直 | 水平 | 水平/垂直 | |
| 光束質量, M² | M²≤1.3 | M²≤1.3 | M²≤1.3 | |
| 光斑直徑 | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | |
| 光斑發散角 | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | |
| 光斑圓度 | ≥85% | ≥85% | ≥85% | |
| 光束指向穩定性 | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | |
| 脈沖寬度穩定性 | <1% RMS @最小脈寬 | <1% RMS @最小脈寬 | <1% RMS @最小脈寬 | |
| 功率穩定性(24小時(shí)) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <0.5% RMS | |
| 長期功率穩定性 (100小時(shí)) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <1% RMS | |
| 脈沖能量穩定性 (24小時(shí)) | <1% RMS | <1% RMS | <1% RMS | |
| 配置選項 | ||||
| 倍頻模塊 | 有 | 無 | 有 | |
| 電控激光快門Shutter | 标配 | 标配 | 标配 | |
| Burst脈沖串模式 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 輸出(chū)脈沖選擇器 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 指引光 | 可選 | 可選 | 可選 | |
| 外形尺寸 | ||||
| 激光器頭 (長×寬×高) | 63x39x20cm | 63x39x20cm | 63x39x20cm | |
| 水冷機 (長×寬×高) | 58x29x9cm | 58x29x9cm | 58x29x9cm | |
| 電源箱 (長×寬×高) | 48x37x9cm | 48x37x9cm | 48x37x9cm | |
| 環境和(hé / huò)使用要(yào / yāo)求 | ||||
| 工作環境 | 20~30℃ | 20~30℃ | 20~30℃ | |
| 相對濕度 | <80%（非冷凝） | <80%（非冷凝） | <80%（非冷凝） | |
| 電源箱 | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | |
| 水冷機 | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | |
| 電源箱 | 750W | 750W | 750W | |
| 水冷機 | 1240W | 1240W | 1240W | |
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